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單晶硅生長分區式不間斷穩定供電技術

1093   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:26:04
本發明提供一種提拉法單晶硅生長分區式不間斷穩定供電技術。市電與單晶生長爐完全斷開，只通過本發明供電技術供電。硅單晶生長爐用電分成直流和交流兩個區域，直流區域為加熱器和控制系統，交流區域為爐體冷卻、晶體旋轉、坩堝旋轉等輔助系統。本發明主體分成四個部分，第一部分為市電及備用電源輸入、整流穩定及充電部分，且通過升壓將電壓提高12%；第二部分為電池組部分，采用鋰離子電池做為長效型電池存儲單元；第三部分為直流輸出部分，是主功率輸出部分，具備電壓和電流的雙重供電調節能力，分為多級體系，為加熱器和控制系統供電；第四部分為交流輸出部分，采用逆變器輸出，為冷卻水等輔助系統供電，穩定性高，電壓及頻率波動小。
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“單晶硅生長分區式不間斷穩定供電技術” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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