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內延生長[100]取向TaON自支撐薄膜的制備方法

934   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:25:31
本發明公開了一種內延生長[100]取向TaON自支撐薄膜的制備方法，可以解決現有技術中TaON無法制備為取向結構，以及無法獲得自支撐薄膜的技術問題，而這些問題抑制了TaON的利用。其技術方案為：將鉭酸鋰單晶晶片在四氯化碳和氨氣的混合氣氛下進行煅燒后，即可獲得內延生長[100]取向TaON自支撐薄膜。本發明的制備方法和實驗步驟簡單，一步制備[100]取向的TaON自支撐薄膜，可大量制備，本發明制備的薄膜除了具有高的晶體取向結構外，還具有有序的納米棒狀結構。
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