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用于光纖陀螺的集成光學調制器電極結構及制作方法

787   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:23:44
本發明公開了一種用于光纖陀螺的集成光學調制器電極結構及制作方法，在鈮酸鋰襯底上制作波導區域以及集成光學調制器芯片上的調制電極，調制電極為推挽式結構，包括兩側的信號電極與中心的地電極，信號電極與地電極均為平行于波導區域的長條狀，波導區域為Y型分支，位于襯底表面之下，調制電極對稱分布于波導區域兩側，位于襯底表面之下，均勻蒸鍍并電鍍于沉降式凹槽的三個表面。本發明根據電場與光場之間的分布特性，優化傳統電極設計模式，采用沉降式的電極替代傳統平面電極，使得調制器電光作用區域的電場分布更為均一，有效抑制了由于電場分布偏差引入的調制誤差，為高精度光纖陀螺的研制提供了有效可行方案。
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“用于光纖陀螺的集成光學調制器電極結構及制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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