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大尺寸LiTaO3晶體的全自動控制晶體生長方法

998   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:22:07
本發明公開一種大尺寸LiTaO3晶體的全自動控制晶體生長方法，包括以下步驟：S1：制備原料；S2：搭建溫場；S3：充保護氣體；S4：控制晶體生長及降溫過程：按照6～30rpm的轉速旋轉鉭酸鋰籽晶，當晶體直徑d生長至D的40％時，在旋轉晶體的同時，以0.2～4mm/h的拉速向上提拉，當晶體直徑生長至90％時，利用PID算法自動調控溫場系統的加熱功率，在60～120h內降至室溫；S5：多線定向切割。本發明采用兩步法完成等徑生長，在放肩階段前段，僅進行晶體橫向生長，并通過PID算法主動完成降溫過程，使晶體成品率≥90％，確保批量生長晶體的均勻性，具有晶體生長速度可控、生長尺寸大、重復性好的優點，適合大規模工業化生產。
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聲明：
“大尺寸LiTaO3晶體的全自動控制晶體生長方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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