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用于OLED掩膜版及坩堝清洗的組合物

1016   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:15:04
本發明公開了一種用于OLED掩膜版及坩堝清洗的組合物，屬于濕電子化學品領域，其所含各組分按質量百分數計為：無機強堿性物質5?20%、有機堿0.5?15%、有機助劑0.1?50%、螯合劑0.1?10%、PEG?Gemini型非離子表面活性劑0.01?10%、余量為水。本發明所得組合物能快速并有效的清洗去除蒸鍍工藝中掩膜版及蒸鍍設備坩堝上附著的氟化鋰電極材料，且易清洗無殘留，可有效提高清洗效率。
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聲明：
“用于OLED掩膜版及坩堝清洗的組合物” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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