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高性能硅基薄膜的制備方法及其應用

1073   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:11:53
本發明提供了一種多孔結構硅氧復合薄膜及其制備方法與應用。所述多孔結構硅氧復合薄膜的制備方法包括的步驟有：將硅靶材在惰性氣體與氧氣的混合氣氛下進行濺射處理，在基體上生長硅氧復合薄膜，并進行退火處理，得到硅和氧化硅的復合薄膜；用腐蝕劑對制備好的復合薄膜進行刻蝕處理，然后清洗和烘干之后即得到多孔結構硅氧復合薄膜。本發明制備的硅氧復合薄膜有大的比表面積、高的儲能密度、較高的電導率、可以吸收硅氧復合薄膜在充放電時產生的體積膨脹，減輕周期性體積變化的應力，保持鋰離子嵌入/脫出過程中的結構穩定性，保持高的可逆容量，比容量高。另外，所述制備方法工藝簡單，設備依賴度低，適合工業化生產。
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