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復合基板及使用其的彈性波器件

1207   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:10:12
本發明提供一種復合基板,其用于彈性表面波器件,耐熱性優異。復合基板(10)具有:壓電基板(12),其由鉭酸鋰(LT)形成,能夠傳播彈性波;支持基板(14),其在方位(111)面通過有機粘合層粘合于上述壓電基板(12)的背面,其為熱膨脹系數小于所述壓電基板的硅制支持基板;粘合兩基板(12)、(14)的粘合層(16)。
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