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采用脊形波導的馬赫曾德光調制器晶片結構

910   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:51:05
本實用新型公開了一種采用脊形波導的馬赫曾德光調制器晶片結構，包括硅襯底、二氧化硅下包層、鈮酸鋰薄膜、二氧化硅緩沖層、二氧化硅上包層、氧化鉭脊形波導和行波電極。本實用新型旨在克服現有技術中存在的不足，提供了一種基于硅基鈮酸鋰薄膜氧化鉭脊形波導的馬赫曾德光調制器，在實現低功耗驅動的同時降低了調制器的尺寸，提高了器件的穩定性，具有制作工藝簡便，器件尺寸小，彎曲半徑小，穩定性好等優點。
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“采用脊形波導的馬赫曾德光調制器晶片結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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