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深紫外偏振棱鏡

775   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:44:07
本實用新型涉及一種深紫外偏振棱鏡，包括兩個直角棱鏡，兩個所述棱鏡分別為四硼酸鋰Li2B4O7晶體和石英SiO2晶體，兩個所述直角棱鏡具有相同切割角，兩個所述棱鏡晶體光軸方向平行，同時，兩個晶軸方向與棱鏡的入射面和出射面平行，兩個所述棱鏡通過空氣隙、光膠或者膠水配合在一起，所述振棱鏡用于深紫外波段到180nm，尤其是可以用于ArF光刻使用的193.368nm波長下，同時也可以用于可見光和近紅外波段。通過四硼酸鋰Li2B4O7晶體和石英SiO2晶體這兩種材料設計新型的深紫外偏振棱鏡，滿足深紫外波段尤其是光刻波段193nm的使用，同時該棱鏡還兼具可以在紫外、可見光和近紅外使用，可以雙通道使用，大視場角，具有較高透過率的技術特點，還具有高性價比的經濟特點。
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