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由不同材料制造結晶材料的方法

890   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:40:21
一種在表面上制造材料的結晶層的方法，該結晶層包含鋰、至少一種過渡金屬和至少一種抗衡離子，其中該方法包括以下步驟：將來自包含鋰的第一靶的材料等離子體濺射到基板的表面或由基板支撐的表面上，至少存在對應于粒子從第一靶到表面上的軌跡的第一羽流，以及將來自包含至少一種過渡金屬的第二靶的材料等離子體濺射到表面上，至少存在對應于粒子從第二靶到表面上的軌跡的第二羽流。第一靶定位成與第二靶不平行，第一羽流和第二羽流會聚在靠近基板表面或由基板支撐的表面的區域，并且結晶層形成在所述區域的表面上。
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