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薄膜晶體管液晶顯示裝置的蝕刻組合物

1015   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:38:50
本發明提供一種薄膜晶體管液晶顯示裝置的蝕刻組合物,通過使用該組合物即可利用單一工序來對構成薄膜晶體管液品顯示裝置的TFT中的作為柵極配線材料的MO/ALND雙重膜或MO/ALND/MO三重膜進行濕式蝕刻以獲得優異的錐形而不會產生作為下部膜的ALND或MO的底切現象,同時使得作為源極/漏極配線材料的MO單一膜和MO/ALND/MO三重膜也可以形成優異的輪廓。本發明涉及薄膜晶體管液晶顯示裝置的蝕刻組合物,特別是涉及含有A)磷酸、B)硝酸、C)乙酸、D)鋰類化合物、E)磷酸鹽類化合物和F)水的薄膜晶體管液晶顯示裝置的蝕刻組合物。
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