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廢舊晶圓的再生方法

800   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:38:50
本發明提供了一種廢舊晶圓的再生方法，所述再生方法包括以下步驟：(1)挑選可再生不良晶圓，使用混合酸對所述不良晶圓進行腐蝕；(2)對步驟(1)腐蝕后的晶圓進行堿洗和水洗；(3)對步驟(2)水洗后的晶圓進行拋光處理，經最終清洗后得到再生晶圓；其中，所述晶圓的材料包括鉭酸鋰和/或鈮酸鋰，本發明采用先酸腐蝕、堿洗、拋光后再藥液清洗的方法對廢舊晶圓進行再生可以去除芯片上的金屬電路和一些光刻膠的殘膠，同時避免晶圓表面的酸和殘膠的殘留，回收再生的晶圓可以實現直接應用，大大節約了生產成本。
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“廢舊晶圓的再生方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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