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添加緩沖層的新型薄膜固態電解質的制備方法

1102   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:37:29
本發明屬于鋰離子電池領域，涉及到一種添加緩沖層的新型薄膜固態電解質的制備方法。其特征是在LiPON薄膜表面添加緩沖層來改善LiPON薄膜的界面性能。LiPON薄膜的制備是利用磁控濺射設備，靶材選擇為Li3PO4(純度為99.9％)靶材；打開磁控濺射設備，安裝靶材與基片，關閉濺射室，將其抽至7×10?4Pa的高真空，然后通入氮氣，工作壓強調整為1.5Pa，濺射功率設置為180W，濺射時間為10h。LiSiPON緩沖層的制備是選擇Li3PO4?Li3SiO3(純度為99.9％)靶材，將濺射室抽至7×10?4Pa的高真空，然后通入工作氣體，工作壓強調整為1.5Pa，濺射功率設置為180W，濺射時間為1h。本發明可以改善LiPON固態電解質的水解還原問題，得到具有穩定界面結構的固態薄膜電解質。
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