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輻射源、光刻裝置和器件制造方法

903   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:37:28
本發明公開了一種輻射源、光刻裝置和器件的制造方法。一種包括陽極和陰極的輻射源,所述陽極和陰極被構造和排列成可以在陽極和陰極之間的空間中的氣體或蒸汽中產生放電,進而形成等離子體收縮來產生電磁輻射。所述氣體或蒸汽包括氙氣、銦、鋰和/或錫。為提高熱耗散,輻射源包括多個放電元件,每個放電元件只使用短的時間間隔,之后就選擇其他的放電元件。為改善收縮形成和由之產生的EUV輻射脈沖的精確同步,輻射源包括一個觸發器件。為提高轉換效率,輻射源設置為具有低感應系數,并運行在自觸發的狀態。
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