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彈性表面波裝置及其制造方法

793   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 23:37:27
一種彈性表面波裝置,由以下部分構成:在鉭酸鋰壓電襯底的一主面上形成了IDT電極、連接電極和外周密封電極的彈性表面波元件;形成了通過焊錫凸臺構件與所述連接電極連接的元件連接用電極、通過焊錫密封構件與所述外周密封電極接合的外周密封導體膜的基襯底。而且,焊錫凸臺構件和焊錫密封構件使用包含90%以上Sn的Sn-Sb類或Sn-Ag類的無鉛焊錫,所述基襯底的熱膨脹系數設定為9~20ppm/℃??梢蕴峁┮环N對于熱膨脹系數差引起的熱應力能非常穩定地接合,并且能夠維持長期穩定連接的彈性表面波裝置。
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