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用于芯片質子交換的機械臂控制夾具及其使用方法

904   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:35:23
本發明公開了一種用于芯片質子交換的機械臂控制夾具，固定于質子交換爐的頂端及內部，包括：固定模塊、電機控制裝置、傳動裝置、機械轉動懸臂、機械位移臂、夾具卡持模塊、芯片夾具。另外，本發明還公開了一種根據機械臂控制夾具進行質子交換的方法。本發明可以機械控制鈮酸鋰基片的移動，有效地減小質子交換過程中的人工操作及開關質子交換爐給交換過程帶來的溫度波動，從而減小對操作人員的身體傷害并提高質子交換制作鈮酸鋰光波導的穩定性。
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“用于芯片質子交換的機械臂控制夾具及其使用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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