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聲表面波濾波器及其制作方法

957   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:32:18
本發明公開了一種聲表面波濾波器及其制作方法，首先在鉭酸鋰或鈮酸鋰襯底上覆蓋一層不透光金屬層，之后利用黃光流程定義出IDT圖形，再通沉積金屬，采用剝離工藝去除光刻膠及其上方的金屬后，再將多余的不透光金屬層去除。其中不透光金屬層為粘合層時，通過蒸鍍工藝沉積金屬，再利用RIE或ICP工藝去除粘合層；不透光金屬層為種子層時，采用電鍍工藝沉積金屬，再利用濕法刻蝕工藝去除種子層。即可完成叉指狀金屬電極的制作工藝。本發明可避免因襯底黑化不均導致透光率不同，從而影響光刻結果，并且可以避免金屬殘留等問題。
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聲明：
“聲表面波濾波器及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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