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聲表面波驅動的二維微光學平臺及其制造方法

763   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:26:55
一種微細加工技術領域的聲表面波驅動的二維微光學平臺及其制造方法。本發明二維微光學平臺包括:基底、叉指換能器和滑動鏡面,其中,基底是128°Y-X的鈮酸鋰單晶體,其上是相互交叉的叉指電極形成的叉指換能器,滑動鏡面是活動部件,它置于基底之上。本發明設計了四個關于微光學平臺中心相互對稱的叉指換能器,來實現滑動鏡面的二維平面驅動?？梢酝ㄟ^調節加在四個IDT電極的射頻電源開關來控制滑動鏡面的左右、上下運動。方法步驟:①四個關于微光學平臺中心相互對稱的IDT加工;②滑動鏡面的微加工。本發明整個加工過程完全可以通過基于半導體材料微制造方法來制作,平臺的運動精度可達納米級。
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“聲表面波驅動的二維微光學平臺及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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