本發明涉及一種精三氯氫硅的生產方法,包括(1)在工業級三氯氫硅精餾工段增加預塔裝置;(2)在預塔前增加加熱器對加料進行預熱;(3)預塔、三氯氫硅塔、四氯化硅塔內部采用填料和塔板復合的形式;(4)四氯化硅可來自四氯化硅塔下部的氣相側采;(5)三氯氫硅塔和四氯化硅塔可集成為一個塔或者采用雙效精餾方法;(6)在冷卻工段中除塵器之后冷凝器前增加洗滌塔裝置;(7)對于洗滌塔采用底溫余熱驅動溴化鋰機組產生冷水供冷卻使用;(8)對合成熱進行熱集成和節能利用;(9)在三氯氫硅進行超純精餾和精制過程中采用3~8個精餾塔和吸附塔或者絡合精餾塔裝置。本發明有投資低、能耗低且目標產物三氯氫硅的分離純度高等優點。
聲明:
“精三氯氫硅的生產方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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