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制備KTP非線性跑道型微環諧振器的方法

858   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 23:26:54
本發明提出一種制備KTP非線性跑道型微環諧振器的方法,包括KTP晶片處理、離子注入、電子束曝光、后續處理、離子刻蝕處理及最后處理六個步驟,通過離子注入一道工序,就實現了與片上鈮酸鋰薄膜材料類似的薄膜狀波導結構的制備,生產流程大大簡化,時間縮短,成本顯著降低,同時,本發明最終制備的KTP非線性微環諧振器,與現存的鈮酸鋰非線性微環諧振器相比,具有更高的光損傷閾值,可將非線性變頻光的輸出功率,由微瓦提升至毫瓦量級,并且適用于輸入和輸出的光信號均為脈沖激光的情形,而離子注入、電子束曝光、金屬蒸發沉積鍍膜、反應離子刻蝕,均為相對成熟的微納加工技術,使得本發明具有良好的可操作性性和可重復性。
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