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超寬帶聲表面波諧振器及濾波器

1025   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:24:44
本發明公開了一種超寬帶聲表面波諧振器，包括15°鈮酸鋰基片，基片上梳狀設置有金屬指條，金屬指條的寬度d與超寬帶聲表面波諧振器的半個諧振周期p的比值的取值范圍為0.28?0.38，且金屬指條的厚度h與超寬帶聲表面波諧振器的一個諧振周期2p的比值的取值范圍為0.08?0.11。本發明通過對諧振器占空比和鍍膜相對厚度的優化，采用在15°鈮酸鋰材料鍍銅的工藝方法實現橫向模和瑞利波寄生的有效抑制，使通帶波紋限制在1dB范圍內，可實現相對帶寬20%可工程應用的小型化、超寬帶的聲表面波濾波器。
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