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ZnO薄膜材料、聲表面波濾波器復合薄膜材料及制備方法

1094   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:23:23
本發明公開了一種ZnO薄膜材料、聲表面波濾波器復合薄膜材料及制備方法，ZnO薄膜材料是在該ZnO薄膜中摻雜有鋰和釩，構成LixVyZn（1-x-y）O壓電薄膜。聲表面波濾波器用復合薄膜材料，從下到上依次由Si襯底、UNCD膜層、LixVyZn（1-x-y）O壓電薄膜層、IDT換能器Al/Ti薄膜層構成，LixVyZn（1-x-y）O壓電薄膜層厚度為250?nm～600nm。本發明大大提高了ZnO薄膜電阻率及其壓電性，壓電薄膜的電阻率為108Ω.cm～109Ω.cm，從而降低了SAW器件插入損耗，插入損耗可降低6.1dB左右。提升了SAW壓電材料的聲速，從而提高了SAW器件工作頻率。
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“ZnO薄膜材料、聲表面波濾波器復合薄膜材料及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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