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在非線性鐵電基板上制作疇反轉結構的方法和裝置

703   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:22:40
一種晶體極化裝置具有一個單疇鐵電基板(例如摻雜氧化鎂的鈮酸鋰基板)、樣本架、高壓電源、電暈炬、氣體源、腔室及至少一個真空泵。在基板的第一個面上形成具有一定結構(例如周期性光柵)的電極,在樣品架的頂部設置有帶有面朝下的電極的基板。電極接地以使該電極區域形成高電場,該高電場是由于基板的第二個面上的電暈炬產生的電荷形成所導致的。而基板的第二個面上的電荷分布受高壓電源和氣體源的控制。為了使晶體極化達到最優化,利用溫度控制器來設置基板的溫度,并且使用真空泵使基板第一個面上的電極絕緣。
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