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混合集成光纖陀螺光學芯片的制備方法

841   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:22:14
本發明屬于半導體工藝技術領域，具體涉及一種混合集成光纖陀螺光學芯片的制備方法，所述芯片包括基底、光源、硅基3dB耦合器、鈮酸鋰Y分支相位調制器、及信號探測器，硅基3dB耦合器基于硅基二氧化硅光波導技術，包括相互連通的Y分支波導、兩個90°圓弧波導、錐形波導和兩個直波導，錐形波導的寬端作為光學芯片的光輸入端口，所述光源正對光輸入端口，與Y分支相連的直波導作為光學芯片的信號輸出端口，信號探測器的光敏面正對信號輸出端口，與90°圓弧波導相連的直波導作為光傳輸端口，與鈮酸鋰Y分支相位調制器3的基波導端面通過波導耦合工藝拼接固定。本發明消除了光纖熔接點，具有集成度高、體積小、功耗低、性能好、可靠性和環境適應性好等優點。
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“混合集成光纖陀螺光學芯片的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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