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聲表面波濾波器及其制造方法

1045   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 23:20:00
本發明涉及一種聲表面波濾波器(1),具有:第一襯底層(100),所述第一襯底層(100)利用由鉭酸鋰構成的壓電晶體來形成,且在所述第一襯底層(100)中利用離子注入技術對所述壓電晶體摻雜鋰離子或氧化鋰來形成摻雜結構(102);電極層(103),所述電極層(103)形成在所述第一襯底層(100)的上方,且由叉指電極構成;以及覆蓋層(104),所述覆蓋層(104)形成在所述電極層(103)的上方,且覆蓋整個所述電極層(103)。
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