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近化學計量比低摻雜Mg:PPLN全光波長轉換器制作方法

771   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 23:19:17
本發明公開一種近化學計量比低摻雜Mg:PPLN全光波長轉換器制作方法,選擇一塊Z切雙面拋光的同成分鈮酸鋰晶片,在晶片-Z表面進行局部摻鎂之后,在該晶片摻Mg的-Z表面制作Ti擴散條形光波導,然后在晶片+Z面進行周期極化,形成一周期性的長鋁條構成的陣列金屬光柵電極,采用富鋰VTE技術得到近化學計量比的摻鎂鈮酸鋰晶體,利用液體電極極化裝置,在室溫下對晶體進行液體極化,獲得周期性晶體超晶格,最后將所得低摻雜Mg:PPLN晶體進行封裝,得到近化學計量比低摻雜Mg:PPLN全光波長轉換器。相比現有技術,本發明具有成本低;拓寬了波長轉換器的使用條件和使用領域、易與其他器件集成、提高了器件集成度、大大降低耦合和傳輸損耗、系統穩定性好等諸多優點。
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