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復合吸收層熱釋電紅外探測器

868   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 23:19:15
本發明公開了一種復合吸收層熱釋電紅外探測器,屬于熱釋電探測器技術領域。本發明熱釋電紅外探測器中吸收層由頂層至底層依次包括:鈦金屬層(1)、介質層(2)、鎳鉻合金層(3)、鉭酸鋰晶體層(4)和反射層(5);所述鎳鉻合金層(3)沉積在鉭酸鋰晶體層(4)的頂面,所述反射層(5)沉積在鉭酸鋰晶體層(4)的底面,所述鈦金屬層(1)沉積在介質層(2)的頂面。本發明制備出的熱釋電紅外探測器的復合吸收層與單一金屬吸收層薄膜作熱敏感層相比,本發明具有更好的表面致密性、高的吸收系數和較小的熱損失,能夠獲取高性能熱響應,利于制備出高精度熱釋電紅外探測器。
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