本實用新型公開了一種高速光調制器,包括:鈮酸鋰基底晶片、形成于鈮酸鋰基底晶片表面的脊形結構、形成于基底晶片的表面且部分形成于脊形結構中的光波導以及形成于鈮酸鋰基底晶片表面、脊形結構的兩側的溝槽、放置于鈮酸鋰基底晶片的表面的緩沖層薄膜、放置于緩沖層薄膜上方金屬電極;本實用新型的有益效果在于:本實用新型提出的高速光調制器結構具有更低的微波有效折射率、更高的電極阻抗和更高的電光調制效率,采用更小的電極間距和更薄的緩沖層薄膜,不僅可以實現高調制帶寬,還有利于實現半波電壓的降低。
聲明:
“高速光調制器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)