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薄膜材料的剝離方法

1065   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:16:36
一種工藝過程，用來制作單晶鈮酸鋰薄膜或單晶鉭酸鋰薄膜材料。在進行晶片鍵合后，利用離子注入造成損傷層的晶格強度降低，以及二氧化硅層與鈮酸鋰(鉭酸鋰)晶體熱膨脹系數的差別，選擇合適的熱處理過程，在晶片組內部形成應力，從而將薄膜剝離。采用此工藝過程可大大降低離子注入劑量，從而降低生產成本，提高薄膜質量。
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