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新型薄膜體聲波諧振器及其制備方法

753   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:11:38
本發明涉及微電子器件領域，具體提供一種新型薄膜體聲波諧振器及其制備方法，該薄膜體聲波諧振器包括Si襯底，于Si襯底上相鍵合的Si鍵合層，于Si鍵合層上設置單晶鈮酸鋰薄片，所述Si鍵合層上表面開設空腔，對應設置于空腔內的下電極附著于單晶鈮酸鋰薄片下表面，于單晶鈮酸鋰薄片上表面設置上電極，所述上電極與下電極對應設置。本發明諧振器采用單晶鈮酸鋰薄片作為壓電層，能夠便捷精確的控制壓電層晶格取向，顯著提升諧振器的諧振頻率和機電耦合系數等性能，同時，利用單晶鈮酸鋰薄片作為器件支撐結構，有效避免電極支撐帶來的性能損害，進一步提升器件性能；并且本發明諧振器結構簡單，加工重復性好，能夠獲得一致性良好的大規模線列和陣列。
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“新型薄膜體聲波諧振器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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