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用于量子通信中波導的刻蝕工藝方法

691   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:11:37
本發明公開了一種用于量子通信中波導的刻蝕工藝方法，高質量鈮酸鋰波導在量子通信中至關重要，波導質量決定了芯片的質量，進而影響在量子通信中的傳輸量與傳輸速度，選用鈮酸鋰晶圓為襯底，在其正Z面沉積鉻層、旋涂光刻膠，后經光刻、鉻腐蝕在鈮酸鋰晶圓上得到波導圖形，再經質子交換、刻蝕等工藝過程，得到高質量波導，光刻膠厚度控制在600?700nm；氫離子與鋰離子進行交換，質子源為配比4270：1的苯甲酸與苯甲酸鋰熔融態，質子交換爐溫度170℃、時間10?24h；濕法刻蝕過程中，1：2.5氫氟酸和硝酸刻蝕液，16?20℃的刻蝕溫度。本發明采用的刻蝕工藝方法，使得展寬精準控制、刻蝕速率穩定、波導表面光滑、傳輸損耗低。
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