本發明公開了一種非水電解質二次電池負極材料用硅氧化物,其是通過使SiO氣體和含鋰氣體共同沉積而獲得的含鋰硅氧化物,且所述含鋰硅氧化物的含鋰量為0.1?20%。本發明含鋰硅氧化物性能優異,可提高非水電解質二次電池的性能,體積膨脹較小、循環性能較為優良,還具有高首次庫倫效率、高容量的優異性能。本發明原料易得,成本低廉,可廣泛應用于工業化生產。
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