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頻率溫度系數降低的聲波諧振器和濾波器

970   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:08:11
公開了聲波諧振器器件和濾波器。一種聲波諧振器，包括具有表面的基板和鈮酸鋰板。所述鈮酸鋰板的背面附接到所述基板上，但是所述鈮酸鋰板形成一隔膜的部分未附接到所述基板上，所述隔膜跨越所述基板中的空腔。叉指換能器(IDT)在鈮酸鋰板的正面上形成，使得其中IDT的交錯的指狀物設置在隔膜上。IDT和鈮酸鋰板被配置成使得施加到IDT的射頻信號激發隔膜內的剪切主聲學模。鈮酸鋰極板的歐拉角為[0°，β，0°]，其中β大于等于40°且小于等于70°。
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