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用于固態微電池光刻制造、切單和鈍化的方法和設備

1035   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:08:11
提供一種制造薄膜鋰電池的方法,包括將陰極集電器、陰極材料、陽極集電器、和隔開陰極材料與陽極集電器的電解質層施加到基板上,其中至少一層包含鋰化的化合物,通過光刻操作至少部分地圖案化該包含鋰化的化合物的至少一層,該光刻操作包括通過包括濕化學處理的工藝從包含鋰化的化合物的層去除光刻膠材料。另外,提供一種用于制備鋰電池的方法和設備,提供第一片材,包括具有陰極材料、陽極材料、和隔開陰極材料與陽極材料的LIPON/電解質層的基板;去除第一材料的子部分以從第一片材分離多個電池單元。在一些實施例中,該方法進一步包括在該片材上沉積第二材料以覆蓋多個電池單元;且去除第二材料的子部分以從第一片材分離多個電池單元。
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