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用作微電子相變存儲器的氨基吡啶Ge(Ⅱ)前質體及其制備方法

866   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 23:05:34
本發明涉及一種用作微電子相變存儲器的氨基吡啶Ge(Ⅱ)前質體,該前質體以氨基吡啶及其衍生物為配體,依以下方法制備:(1)將氨基吡啶及其衍生物溶解在反應溶劑中,-78~0℃攪拌條件下加入烷基鋰溶液,氨基吡啶或其衍生物與烷基鋰摩爾比1.0:1.0~1.4,恢復室溫繼續攪拌,將Li配合物靜置待用;(2)將步驟(1)得到的Li配合物與甲苯混合,-78~0℃條件下以鋰鹽與金屬鍺摩爾比2.0:1.0~1.4滴加到二氯化鍺的乙醚溶液中,升溫至室溫;(3)將步驟(2)得到的混合物過濾濃縮,濾渣用二氯甲烷提取,收集濾液,-40~0℃低溫結晶,得到所述的氨基吡啶Ge(Ⅱ)前質體。本發明合成方法簡單,制備的前質體熱穩定性高,揮發性好,成膜性能優良,是制備相變存儲器潛在的重要前質體。
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