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壓電性材料基板與支撐基板的接合體及其制造方法

1121   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 23:02:47
在將由選自由鈮酸鋰、鉭酸鋰和鈮酸鋰?鉭酸鋰組成的組中的材質形成的壓電性材料基板與設置有氧化硅層的支撐基板接合時,抑制接合體的特性劣化。接合體(7、7A)具備:支撐基板(4);氧化硅層(5),其設置于支撐基板(4)上;以及壓電性材料基板(1、1A),其設置于氧化硅層(5)上、并由選自由鈮酸鋰、鉭酸鋰和鈮酸鋰?鉭酸鋰組成的組中的材質形成。壓電性材料基板(1、1A)與氧化硅層(5)的界面(A)處的氮濃度高于氧化硅層(5)與所述支撐基板(1)的界面處的氮濃度。
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