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氟化鋰改性的鈦酸鋇基介質薄膜及其制備方法

713   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:58:59
本發明提供一種氟化鋰改性的鈦酸鋇基介質薄膜及其制備方法，屬于電子材料與元器件領域。該介質薄膜化學組成的化學通式為(1?y)Ba1?xRexTiO3?yLiF，其中0.005≤x≤0.02，0.0025≤y≤0.03，y為質量分數，Re為La、Ce、Pr中的一種或兩種元素。采用溶膠凝膠法制備，分別配制Ba1?xRexTiO3和LiF前驅體溶液；通過分別旋涂、干燥、熱解、退火、擴散，最終形成(1?y)Ba1?xRexTiO3?yLiF固溶體。本發明通過摻雜，并在制備時調節退火溫度、退火時間控制氟的揮發，從而獲得溫度穩定性好、耐擊穿強度高的介電薄膜。
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