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鋰離子電池基材表面鍍膜機構

980   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 22:52:46
本實用新型公開了一種鋰離子電池基材表面鍍膜機構,包括真空箱體、升降驅動件、濺射鍍膜裝置,濺射鍍膜裝置包括支撐連接板、屏蔽罩和陰極結構,陰極結構固定連接在屏蔽罩內,支撐連接板的下方固定連接有遮擋板,遮擋板上均勻開設有多個矩形孔;水冷裝置的底端與陰極結構對應,本實用新型通過設置屏蔽罩阻擋靶材向周圍濺射,同時保證陰極濺射穩定和膜層厚度一致性較好,并通過設置在靶材與基材之間的遮擋板,使得通過矩形孔濺射到基材上形成的膜層形狀規則,并且鍍膜層寬度與矩形孔寬度相同,每條鍍膜層之間均有間隙,方便后續切割和連接電極線;并且可以通過水冷裝置對陰極結構進行降溫,提高使用壽命。
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