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可集成的全固態鋰離子薄膜微電池正極的制備方法

963   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:35:49
本發明公開了一種可集成的全固態鋰離子薄膜 微電池正極的制備方法。方法如下：在氧化鋁、氮化鋁、石英 或者表面氧化的硅片的襯底上采用磁控濺射法沉積一層Pt、Au 或Al用作集流電極，在集流電極與襯底之間沉積一層Ti、Co 或Cr用作過渡層；以層狀結構LiCo1－ xMxO2和尖晶石結構LiMn2－ xMxO4中所包含金屬的氧化物、氫氧化物、碳酸 鹽、硝酸鹽或醋酸鹽為原料制備粉末前驅體，將粉末前驅體研 磨、圓餅壓制、分區段煅燒、爐冷得到脈沖激光沉積用靶材， 然后采用脈沖激光沉積法在金屬化的襯底上均勻沉積一層正 極薄膜。該發明得到的薄膜正極結合力好，電極性能好，易于 集成并且制備成本較低。
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聲明：
“可集成的全固態鋰離子薄膜微電池正極的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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