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采用氫化鋰還原三氯氫硅反應制備硅烷的裝置

982   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:18:36
本實用新型涉及一種烷類化工產品-高純硅烷制備的裝置，特別是一種采用氫化鋰還原三氯氫硅反應制備硅烷的裝置，適合于化工合成硅烷。一種采用氫化鋰還原三氯氫硅反應制備硅烷的裝置；由三氯氫硅儲罐與硅烷反應器的入口相連；冷卻器接入硅烷反應器的出口構成循環回路；低溫吸附裝置通過連接管線接入冷卻器的出口；液化器與低溫吸附裝置的出口相連、液化器的出口連接壓縮機的汽化升壓裝置構成。設計合理，使用方便，是理想的高純硅烷制備裝置。
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“采用氫化鋰還原三氯氫硅反應制備硅烷的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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