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在鋁酸鋰晶片表面低溫制備氮化鋁薄膜的方法

883   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:17:34
一種在鋁酸鋰晶片上低溫制備氮化鋁薄膜的方法，將拋光的(100)γ－LiAlO2晶片置于流動或密封氨氣氣氛環境中，在室溫至800℃的溫度范圍內，保溫0.1至120小時，對(100)γ－LiAlO2晶片表面進行氮化處理，在(100)γ－LiAlO2晶片表面獲得一層高度c軸取向的(0001)氮化鋁薄膜。這種表面覆蓋有(0001)氮化鋁薄膜的(100)γ－LiAlO2晶片的表面粗糙度明顯降低，穩定性得到明顯提高。用本發明方法制備的氮化(100)γ－LiAlO2晶片可作為襯底用于外延制備GaN、氮化鋁、InGaN、ZnO等寬禁帶半導體薄膜、厚膜以及功能器件。
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