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用于制備大縱橫比鈮酸鋰波導的化學機械拋光液

1003   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:17:34
本發明涉及一種用于制備大縱橫比鈮酸鋰波導的化學機械拋光液，包括以下成分及質量百分數：二氧化硅為5?50％；PH調節劑為0.1?5％；活性劑為0.02?1％；絡合劑為0.5?4％；緩蝕劑為0.01?0.6％；去離子水為余量。本發明中，化學機械拋光液選用的表面活性劑一方面可以降低表面張力，提高質量傳輸速率，增大流動性；另一方面也對高低選擇比起反作用，容易在低處成膜，降低低處的消磨率；因而該拋光液選取了最佳濃度，既可以保證拋光液的流動性不受影響，也保證該拋光液仍具有較大的鉻，鈮酸鋰選擇比。
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聲明：
“用于制備大縱橫比鈮酸鋰波導的化學機械拋光液” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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