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鈮酸鋰晶片光刻甩膠真空吸頭

959   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:17:31
本實用新型提供一種鈮酸鋰晶片光刻甩膠真空吸頭,其真空吸頭為一體成型,包括:用于吸附晶片的一吸盤,該吸盤的大小形狀與晶片適配,吸盤既可是圓形也可是矩形,其表面設有通孔和凹槽;所述吸盤下部設有與電機旋轉軸連接的一軸頸,該軸頸與電機旋轉軸的軸心連通真空系統,使晶片下表面與吸盤上表面之間形成真空吸附,所述吸盤的四周邊緣固定連接有多個防止晶片離心飛出的擋塊,這樣就避免了甩膠過程中由于離心力的作用鈮酸鋰材料的晶片向外飛出打碎,從而可有效保證晶片甩膠的高成品率。在進行4英寸圓晶片或矩形晶片的甩膠時,只需更換相應真空吸頭即可。
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聲明：
“鈮酸鋰晶片光刻甩膠真空吸頭” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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