本發明涉及一種全固態薄膜鋰離子電池負極及其制備方法,全固態薄膜鋰離子電池負極包括電極基片、覆蓋在電極基片表面的負極薄膜,特別是,所述的負極薄膜為通過射頻磁控濺射方法形成的納米硅薄膜。本發明采用納米硅薄膜作為負極薄膜,其具有非常高的質量比容量(接近4000mAh/g),是理想的負極材料。本發明的電池負極具有非常優異的充放電循環可逆性,電池使用壽命長。
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