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鈮酸鋰單面拋光片背面不良的返工方法

837   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:15:33
本發明公開了一種鈮酸鋰單面拋光片背面不良的返工方法，包括如下步驟：將鈮酸鋰單面拋光片進行檢驗，將檢驗出背面不良的晶片進行標記；將標記的晶片放入堿性清洗液中超聲清洗；將清洗后的晶片拋光面進行貼膜；將兩片貼膜后晶片的貼膜面粘合，獲得粘合工件；將粘合工件進行雙面研磨；將研磨后的粘合工件清洗并脫膜。本發明通過工藝改進，提高產品良品率，返工后的單面拋光片具有背面粗糙度一致性好、平坦度指標高、加工效率高、生產成本低、工藝易實現和易監控等特點，能夠滿足產業化大規模批生產的要求。
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聲明：
“鈮酸鋰單面拋光片背面不良的返工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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