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用于鈮酸鋰基聲表面波器件的水冷平臺、水冷散熱裝置及其使用方法

1099   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:15:02
本發明公開了用于鈮酸鋰基聲表面波器件的水冷平臺，水冷平臺包括由上至下依次設置的上蓋板、熱電偶支撐層、隔板、散熱層和下基板，水冷平臺包括設置在中心的聚焦區和設置在聚焦區外圍的外圍區；熱電偶支撐層上設有與聚焦區對應設置的聚焦區熱電偶和與外圍區對應設置的外圍區熱電偶，外圍區熱電偶及聚焦區熱電偶通過導線口與外部的控制電路電連接以用于監測聚焦區及外圍區的溫度；外圍區冷液口與聚焦區冷液口與外部的供水裝置連接，散熱層上設有位于聚焦區的聚焦循環通道和位于外圍區的外圍循環通道。分別對聚焦區與外圍區進行循環冷卻，并且其聚焦區循環通路與外圍區循環通路相對獨立，不會相互影響，有效避免由于鈮酸鋰去遇見溫差大而導致芯片斷。
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“用于鈮酸鋰基聲表面波器件的水冷平臺、水冷散熱裝置及其使用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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