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基于LiPON固態電解質的鋰離子電容器的制備方法

698   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:15:00
本發明屬于電容器的制備方法技術領域，具體涉及一種基于LiPON固態電解質的鋰離子電容器的制備方法，包括下列步驟：先設置一層Si基底；提供Al靶材，通過反應磁控濺射，在S Si基底上沉積Al層集流體；制備石墨烯靶材，以石墨烯為靶材，利用反應磁控濺射，在Al層集流體上沉積石墨烯層；提供Li3PO4靶材，以Li3PO4為靶材，利用反應磁控濺射，在石墨烯層上沉積LiPON電解質層；以石墨烯為靶材，利用反應磁控濺射，在LiPON電解質層上沉積石墨烯層；以Al為靶材，通過反應磁控濺射，在石墨烯層上沉積Al層集流體。本發明充分運用石墨烯的高比表面積、高導電性、高離子遷移率以及良好的浸潤性的特性，制備具有高離子電導率、良好安全性能和長循環壽命的鋰離子電容器。
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“基于LiPON固態電解質的鋰離子電容器的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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