本實用新型涉及晶體生長設備技術領域的一種鉭酸鋰單晶生長自適應溫場裝置,包括感應線圈及金屬坩堝,所述金屬坩堝外固定有保溫坩堝,金屬坩堝配合有提拉旋轉機構,金屬坩堝設置在感應線圈內且連接有升降機構,所述升降機構與提拉旋轉機構均與控制機構連接。本實用新型結構簡單合理,通過豎直伸縮桿二使金屬坩堝在感應線圈內上下移動,根據晶體的生長過程適時調節感應線圈與金屬坩堝的相對,保證了金屬坩堝內固液界面的溫度梯度滿足晶體生長的需要,保證了整體溫場的梯度均勻性,降低了晶體開裂的概率,大幅提高了鉭酸鋰晶體的成品率。
聲明:
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我是此專利(論文)的發明人(作者)