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鈮酸鋰周期光柵結構的制備方法

839   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:10:51
本發明公開一種鈮酸鋰周期光柵結構的制備方法。該方法選取合適尺寸的Y36°和Y128°切向的同成份鈮酸鋰晶片作為基底，在225℃下質子交換3個小時，然后采用濕法刻蝕的方法，即將樣品放入HF?HNO3混合刻蝕液中10個小時，得到周期光柵結構。本發明基于濕法刻蝕法制作周期光柵，該制作方法操作簡便，無需掩模光刻，刻蝕的選擇性好，成本較低，有利于推廣和應用。
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聲明：
“鈮酸鋰周期光柵結構的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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