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鈮酸鋰波導的集成光子晶體光纖陀螺

755   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 21:58:27
本發明公開了一種鈮酸鋰波導的集成光子晶體光纖陀螺。本發明包括從下到上依次層疊布置的硅襯底、二氧化硅緩沖層和鈮酸鋰單晶薄膜,鈮酸鋰單晶薄膜在兩側分為第一臺階面和第二臺階面的兩個高度不同的臺階面;在第一臺階面上集成布置光傳輸系統,在第二臺階面上集成布置諧振腔光路,光束在光傳輸系統和諧振腔光路中傳導,實現光的低損耗諧振運動。本發明的光纖陀螺集成度高,減少元件之間的相對位置誤差,使光學陀螺整體結構更加緊湊,從而提高光纖陀螺的可靠性和環境適應性;制作工藝流程簡單,穩定性高。
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